Please use this identifier to cite or link to this item:
https://er.knutd.edu.ua/handle/123456789/8877
Title: | Химический синтез наноструктурированных систем с хемочувствительными свойствами |
Authors: | Пянко, А. В. Жилинский, В. В. Горох, Г. Г. |
Issue Date: | 2016 |
Citation: | Пянко А. В. Химический синтез наноструктурированных систем с хемочувствительными свойствами [Текст] / А. В. Пянко, В. В. Жилинский, Г. Г. Горох // Promising materials and processes in technical electrochemistry : monograph / ed.: V. Z. Barsukov, Yu. V. Borysenko, O. I. Buket, V. G. Khomenko. - Kyiv : KNUTD, 2016. - C. 185-188. |
Source: | Promising materials and processes in technical electrochemistry |
Abstract: | В настоящей работе исследованы процессы электрохимического и химического наполнения анодно-оксидного алюминия широкозонными металлооксидными полупроводниками SnO2, ZnO для использования в газовой сенсорике. Разработана методика двустадийного анодирования алюминия на кремниевой подложке. Выполнен анализ газового сенсора с помощью тестовой структуры. This paper deals with the processes of electrochemical and chemical filling of anodic aluminum oxide with wide-zone metal oxide semiconductors (SnO2, ZnO) in terms of their use in gas sensors. The method of two-step anodization of aluminum on a silicon substrate was designed. Analysis of the gas sensor was carried out using a test structure. |
URI: | https://er.knutd.edu.ua/handle/123456789/8877 |
Appears in Collections: | Наукові публікації (статті) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Promising2016_P185-188.pdf | 356,65 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.